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ZRJ成套钽电容真空烧结炉
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该系列设备主要用于钽电容器的真空预烧和高真空烧结，也可用于铬铜触头、ITO靶材烧结及粉末冶金行业。设备具有较高控温精度和温度均匀性，较高的极限真空度和工作真空度，配备特制加热器、高温光学测温计及进口智能控制仪，具有性能完善，工作可靠，结构简单，操作方便等特点。
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设 备 型 号 |
ZRJ-20-18TB |
ZRYJ-20-10L |
ZRYJ-30-10L |
ZRM3-15-6L |
ZRJ-50-19LB |
ZRJ-80-22L |
ZRJ3×6-80-20 |
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设备名称 |
真空测试炉 |
真空预烧炉 |
三工位真空预烧炉 |
高真空烧结炉 |
六工位真空烧结炉 |
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额定加热功率kVA |
20 |
20 |
30 |
15 |
50 |
80 |
80 |
|
最高加热温度（空炉）℃ |
1800 |
1100 |
1100 |
650 |
1900 |
2200 |
2050 |
|
额定工作温度℃ |
1700 |
850 |
850 |
450 |
1800 |
2050 |
1950 |
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最大承载量
㎏/炉 |
1 |
10 |
10 |
10 |
5 |
5 |
5×6 |
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均温区有效尺寸㎜ |
φ80×70H |
φ140×270H |
φ140×350H |
φ140×390H |
φ140×260H |
φ140×260H |
φ140×260H |
|
温度均匀性 ℃ |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
|
空炉升温时间
min |
30(室温到1700℃) |
30(室温到850℃) |
30(室温到850℃) |
30(室温到450℃) |
30(室温到1800℃) |
30(室温到2000℃) |
30(室温到1900℃) |
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炉恢复真空时间min |
10 |
15(大气到6×10-1Pa) |
15(大气到6×10-1Pa) |
20(大气到6×10-1Pa) |
10(大气到1.2×10-1Pa) |
15(大气到4×10-3Pa) |
15(大气到1.2×10-2Pa) |
|
极限真空度(空炉)Pa |
1×10-4 |
1×10-1 |
1×10-1 |
1×10-1 |
2×10-4 |
2×10-4 |
2×10-4 |
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工作真空度
Pa |
4×10-3 |
6×10-1 |
6×10-1 |
6×10-1 |
4×10-3 |
4×10-3 |
4×10-3 |
|
压升率 Pa/h |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.2 |
0.2 |
0.5 |
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冷却方式 |
自然冷却300℃充高纯Ar |
外循环强制冷却300℃充高纯Ar |
真空炉管水喷淋强制冷却 |
自然冷却300℃充高纯Ar |
外循环强制冷却300℃充高纯Ar |
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空炉冷却时间min |
|
90(300℃～50℃) |
90(300℃～50℃) |
120(450℃～70℃) |
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90(300℃～50℃) |
30(300℃～50℃) |
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惰气耗量 |
0.5Nm3/炉 |
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供气压力0.2MPa |
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干燥高纯(99.99%)Ar |
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冷却水耗量 |
5 m3/h,0.2～0.3
MPa |
10m3/h,0.2～0.3
MPa |
10m3/h,0.2～0.3
MPa |
10m3/h,0.2～0.3
MPa |
10m3/h,0.2～0.3
MPa |
12m3/h,0.2～0.3
MPa |
14m3/h,0.2～0.3
MPa |
|
压缩空气耗量 |
0.1m3/h,0.6～0.8
MPa |
0.1m3/h,0.6～0.8
MPa |
0.1m3/h,0.6～0.8
MPa |
0.1m3/h,0.6～0.8
MPa |
0.1m3/h,0.6～0.8
MPa |
0.1m3/h,0.6～0.8
MPa |
0.1m3/h,0.6～0.8
MPa |
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设备总功率kVA |
30 |
30 |
40 |
40 |
70 |
100 |
130 |