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KTD系列高真空油扩散泵结构为凸腔型,可获得10-2~10-5Pa高真空和超高真空,由于将水冷挡油帽与泵体组成一个整体,提高了系统的有效抽速,节省了配置费用,具有抽速大,返油低,结构简单等特点。广泛应用于电子、冶金、真空镀膜、空间模拟等领域。
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型号 |
抽速(L/S) |
极限压力(Pa) |
临界前级压力Pa |
返油率(g/cm2.s) |
电源电压(V |
加热功率(kw) |
泵油牌号 |
泵油用量(L) |
冷却水用量(L/h) |
推荐前级泵抽速(L/S) |
外型尺寸(L×W×H)(mm) |
重量(Kg) |
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单泵 |
挡板 |
单 泵 |
挡 板 |
|||||||||||
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K-100TD |
≥300 |
≥240 |
5×10-5 |
30 |
5E-3 |
6E-4 |
220 |
0.3 |
KS-3或
275#硅油 |
0.12 |
120 |
15 |
305×170×385 |
10 |
|
K-320TD |
≥4200 |
≥3500 |
5×10-5 |
|
5E-3 |
6E-4 |
220 |
4 |
KS-3或
275#硅油 |
1.5-1.8 |
500 |
30 |
730×500×910 |
70 |
|
K-500TD |
≥10000 |
≥8000 |
5×10-5 |
|
5E-3 |
6E-4 |
380 |
6.9 |
KS-3或
275#硅油 |
4.4-5 |
750 |
70 |
1065×680×1285 |
125 |
|
K-800TD |
≥24000 |
≥20000 |
5×10-5 |
|
5E-3 |
6E-4 |
380 |
15 |
KS-3或
275#硅油 |
10 |
1200 |
300 |
1700×1000×1955 |
850 |
|
K-1000TD |
≥38000 |
≥32000 |
5×10-5 |
|
5E-3 |
6E-4 |
380 |
24 |
KS-3或
275#硅油 |
16 |
1500 |
300 |
2020×1290×2325 |
980 |
|
K-1200TD |
≥55000 |
≥50000 |
5×10-5 |
|
5E-3 |
6E-4 |
380 |
24 |
KS-3或
275#硅油 |
16-20 |
2400 |
500 |
2300×1550×2670 |
1640 |