DH系列多弧镀膜机
作者：甘肃真空设备有限公司时间：2022-09-22点击：1328次
※ 系列产品参数
型号项目 | DH-8 | DH-14 | DH-18 | DH-26 | DH-26A |
真空室尺寸 mm | Φ800×1100 | Φ1250×1500 | Φ1600×1750 | Φ1600×2250 | Φ2600×2100 |
多弧靶数量 只 | 8 | 14 | 18 | 26 | 26 |
极限压力 Pa | 1.5×10-3 | ||||
工作压力 Pa | 1.2×10-2 | ||||
恢复真空时间 min | 15（大气～10-3Pa） | ||||
工作转动 rpm | 公转、自转/二次自转 | ||||
工作气体 | Ar 纯度99.99% | ||||
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